BAHAGIAN 1: Pengenalpastian Pengenal pastian produk Nama Bahan HCDS-HP Sinonim 1,1,1,2,2,2-HEXACHLORODISILANE; HEXACHLORODISILANE; DISILICON HEXACHLORIDE; SILICON CHLORIDE; Cl6Si2 Kelas Bahan Kimia silana Kegunaan Produk buatan semikonduktor Kekangan Kegunaan Tiada yang diketahui. Butir-butir pembekal yang menyediakan helaian data keselamatan Entegris, Inc. 129 Concord Road Building 2 Billerica, MA 01821 USA Telephone Number: +1-952-556-4181 Telephone Number: +1-800-394-4083 (toll free within North America) Supplier/Pembekal Entegris Singapore Pte. Ltd. 31 Kaki Bukit Road 3, Techlink, #06-08/11 Singapore 417818 Telephone/Telefon: +65-6745-2422 Fax/Faks: +65-6745-4477 Emergency # / Nombor kecemasan 800-101-2201(CHEMTREC) 1-703-527-3887 (International/Antarabangsa) E-mail: Product.stewardship@entegris.com SEKSYEN 2: Bahaya yang mungkin terjadi Piawai Singapura SS 586-2:2014 Kakisan/Kerengsaan Kulit - Kategori 1 Kerosakan Mata Yang Serius/Kerengsaan Mata - Kategori 1 Ketoksikan Organ Sasaran Khusus - Pendedahan Tunggal - Kategori 3 ( Alat pernafasan ) Tanda bahan Tanda bahaya Mukasurat 1 daripada 9 Tarikh dikeluarkan: 2016-01-14 Semakan 1.0 Tarikh dicetak: 2016-01-26
Perkataan isyarat Bahaya Tanda-tanda bahaya H314 Menyebabkan kebakaran kulit dan kerosakan mata yang teruk. H335 Boleh menyebabkan radang saluran pernafasan. Saranan keselamatan Pencegahan P271 Gunakan hanya di kawasan luar atau di kawasan yang mempunyai pengudaraan yang baik. P280 Pakai sarung tangan perlindungan/pakaian perlindungan/pelindung mata/pelindung muka. P260 Jangan sedut debu/wasap/gas/kabus/wap/semburan. P264 Basuh sebersih-bersihnya selepas pengendalian. Tindak balas P304+P340 JIKA TERSEDUT: Bawa mangsa ke tempat yang berudara segar dan biarkan berehat dengan selesa untuk bernafas. P310 Segera hubungi PUSAT RACUN atau doktor/pakar perubatan. P321 Rawatan khas (lihat label). P303 JIKA TERKENA KULIT (atau rambut): P361 Segera tanggalkan/buka semua pakaian yang tercemar. P353 Basuh kulit dengan air/mandi. P363 Basuh pakaian yang telah tercemar sebelum digunakan semula. P310 Segera hubungi PUSAT RACUN atau doktor/pakar perubatan. P305+P351+P338 JIKA TERKENA MATA: Bilas berhati-hati dengan air selama beberapa minit. Tanggalkan kanta lekap, jika ada dan dapat dilakukan dengan mudah. Teruskan membilas. P310 Segera hubungi PUSAT RACUN atau doktor/pakar perubatan. P301+P330+P331 JIKA TERTELAN: Bilas mulut. JANGAN aruh muntah. P310 Segera hubungi PUSAT RACUN atau doktor/pakar perubatan. Simpanan P403+P233 Simpan bekas dalam keadaan yang tertutup rapat di tempat yang mempunyai pegudaraan yang baik. P405 Simpan dalam keadaan tertutup. Pelupusan P501 Lupuskan kandungan/bekas sesuai dengan peraturan-peraturan tempatan/wilayah/kebangsaan/antarabangsa. Bahaya Lain yang Tidak Termasuk Dalam Pengelasan Bertindak balas dengan air untuk menjana gas menghakis. SEKSYEN 3: Komposisi / maklumat tentang bahan-bahan CAS Nama Komponen Peratus 13465-77-5 HEXACHLORODISILANE 100 Bendasing dan bahan tambah penstabil yang menyumbang kepada pengelasan GHS tiada Mukasurat 2 daripada 9 Tarikh dikeluarkan: 2016-01-14 Semakan 1.0 Tarikh dicetak: 2016-01-26
SEKSYEN 4: Langkah-langkah bantuan kecemasan Keterangan Langkah-langkah yang Diperlukan Pernafasan Jika kesan buruk berlaku, bawa ke kawasan yang tidak tercemar. Beri pernafasan bantuan jika tidak bernafas. Jika sukar bernafas, oksigen hendaklah diberikan oleh kakitangan bertauliah. Dapatkan rawatan perubatan dengan sertamerta. Sentuhan kulit Basuh kulit dengan sabun dan air selama sekurang-kurangnya 15 minit sambil menanggalkan pakaian dan kasut yang tercemar. Dapatkan rawatan perubatan dengan serta-merta. Bersihkan dan keringkan sepenuhnya pakaian yang tercemar sebelum digunakan semula. Lupuskan kasut yang tercemar. Tersentuh mata Siram mata dengan air yang banyak dengan segera selama 60 minit. Tanggalkan kanta lekap, jika ada dan mudah untuk dilakukan. Teruskan membilas. Kemudian dapatkan rawatan perubatan dengan serta-merta. Tertelan Jika tertelan, jangan cetuskan muntah. Kumur mulut. Dapatkan rawatan perubatan dengan serta-merta. Simptom/Kesan Paling Penting Akut lecuran salur pernafasan, lecuran kulit, lecuran mata, lecuran membran mukus Tertunda Tiada maklumat mengenai kesan buruk yang signifikan. Tanda-tanda untuk mendapatkan bantuan doktor dengan segera atau rawatan khusus Bagi penyedutan, gunakan oksigen. Elakkan pengurasan gaster atau emesis. SEKSYEN 5: Langkah-langkah membasmi kebakaran Bahan pemadam yang sesuai kimia kering biasa, abu soda, limau, pasir kering. Kebakaran yang besar: Pasir kering, bahan kimia kering, abu soda atau limau. Media Pemadam Yang Tidak Sesuai Jangan gunakan air atau buih. Bahaya khusus yang timbul daripada bahan atau campuran Bahaya kebakaran boleh abai. Peralatan Perlindungan dan Langkah Pencegahan untuk Bomba Pakai pakaian perlindungan pemadaman api yang lengkap, termasuk alat pernafasan tertutup (SCBA) untuk perlindungan terhadap pendedahan yang mungkin. Langkah Mencegah Kebakaran Air hanya boleh digunakan untuk mengawal wap atau untuk menyejukkan bekas. Jangan ambil air di dalam bekas. Jangan serakkan bahan tertumpah dengan aliran air tekanan tinggi. Alihkan bekas dari kawasan kebakaran jika ia boleh dilakukan tanpa risiko. Dinginkan bekas dengan semburan air sehingga selepas api padam sepenuhnya. Jauhkan diri dari hujung tangki. Gunakan agen pemadaman yang sesuai dengan kebakaran sekitar. Jangan siram air terus pada bahan. Kebakaran yang besar: Siram dengan semburan air perlahan. Kurangkan wap dengan semburan air. Dinginkan bekas dengan semburan air sehingga selepas api padam sepenuhnya. Siram air dari lokasi yang terlindung atau dari jarak yang selamat. Elakkan menyedut bahan atau hasil sampingan pembakaran. Sentiasa berada di arah melawan angin dan elakkan dari kawasan rendah. Pembakaran Klorin, oksida silikon. Air atau Lembapan: hidrogen klorida Mukasurat 3 daripada 9 Tarikh dikeluarkan: 2016-01-14 Semakan 1.0 Tarikh dicetak: 2016-01-26
SEKSYEN 6: Langkah-langkah apabila berlaku kebocoran yang tidak disengajakan Langkah-langkah keselamatan peribadi, peralatan perlindungan dan langkah-langkah yang digunakan ketika kecemasan Pakai pakaian dan peralatan pelindungan diri. Langkah-langkah perlindungan alam sekitar Elakkan pembebasan ke alam sekitar. Kaedah dan Bahan untuk Pembendungan dan Pembersihan. Hentikan kebocoran jika boleh tanpa mengundang risiko. Kurangkan wap dengan semburan air. Apabila gunakan air, siram dengan jumlah yang besar untuk mengelakkan pembentukan perantaraan penguraian yang kejutan sensitif. Elakkan terkena bahan mudah terbakar. Jangan sentuh bahan yang tertumpah. Siram bahan tertumpah dengan air yang berlebihan. Hanya kakitangan yang terlatih untuk bahaya bahan ini boleh melaksanakan pembersihan dan pelupusan. Daik untuk pelupusan kemudian. Jauhkan dari orang yang tidak berkenaan, asingkan kawasan berbahaya dan halang kemasukan. Alihudarakan ruang tertutup sebelum masuk. SEKSYEN 7: Pengendalian dan penyimpanan Langkah-langkah perlindungan untuk keselamatan ketika pengendalian Jangan hidu wap atau kabus. Basuh sebersih-bersihnya selepas pengendalian. Pakai sarung tangan/pakaian pelindung dan pelindung mata/muka. Gunakan hanya di kawasan luar atau di kawasan yang mempunyai pengudaraan yang baik. Syarat-syarat untuk penyimpanan yang selamat dengan menimbangkan ketidakserasian Simpan bekas dalam keadaan yang tertutup rapat di tempat yang mempunyai pegudaraan yang baik. Simpan dalam keadaan tertutup. Simpan dan kendalikan menurut semua peraturan dan piawaian semasa. Simpan dalam atmosfera lengai. Simpan di tempat yang dingin dan kering. Elakkan sentuhan dengan air atau lembapan untuk mengelakkan pembentukan perantaraan penguraian yang kejutan sensitif. Asingkan dari bahan yang tidak serasi. Bahan Tidak Serasi alkohol, bes, Klorin, bahan pengoksida, Air SEKSYEN 8: Had dan pantau pendedahan/peralatan perlindungan individu Garis Panduan Pendedahan Had Pendedahan Komponen Singapura dan ACGIH masih belum membangunkan had pendedahan bagi sebarang komponen produk ini. Nilai had biologi Tiada nilai had biologi untuk mana-mana komponen produk ini. Had dan kawalan pendedahan Sediakan ekzos setempat atau sistem pengudaraan kepungan proses. Pastikan pematuhan had pendedahan yang berkaitan. PERALATAN PERLINDUNGAN INDIVIDU Perlindungan mata/muka Pakai gogel keselamatan tahan percikan dengan pelindung muka. Sediakan air pancut kecemasan untuk mencuci mata dan pancuran mandi deras kuyup di kawasan kerja terdekat. Pakaian Pelindung Pakai pakaian tahan kimia yang sesuai. Cadangan Sarung Tangan Pakai sarung tangan tahan kimia yang sesuai. Perlindungan Pernafasan Mukasurat 4 daripada 9 Tarikh dikeluarkan: 2016-01-14 Semakan 1.0 Tarikh dicetak: 2016-01-26
Dalam keadaan penggunaan kerap atau pendedahan teruk, perlindungan pernafasan mungkin diperlukan. Perlindungan pernafasan dikelaskan mengikut urutan minimum hingga maksimum. Perhatikan ciri amaran sebelum menggunakan. Sebarang respirator pemurni udara yang penuh bahagian muka, dilengkapi dengan penapis N95, R95 atau P95. Penapis berikut juga boleh digunakan: N99, R99, P99, N100, R100 atau P100. Sebarang respirator pemurni udara bertenaga dengan bahagian muka yang ketat dan penapis zarahan dengan kecekapan tinggi. Sebarang respirator bekal udara dengan pelindung muka penuh yang dikendalikan dalam mod permintaan tekanan atau tekanan positif lain. Untuk Kepekatan yang Tidak Diketahui atau Kebahayaan Segera bagi Hidup atau Kesihatan -: Mana-mana respirator bekal udara dengan penutup muka penuh yang dikendalikan dalam mod permintaan tekanan atau tekanan positif lain bersama alat pernafasan swalengkap tambahan yang dikendalikan dalam mod permintaan tekanan atau tekanan positif lain. Sebarang alat pernafasan swalengkap yang dilengkapi pelindung muka penuh dan dikendalikan dalam mod permintaan tekanan atau tekanan positif. SEKSYEN 9: Ciri-ciri fizikal dan kimia Penampilan terang cecair Keadaan Fizikal cecair Bau bau yang menjengkelkan Warna tidak berwarna ke kuning pucat Ambang Bau Tidak Disediakan nilai ph Tidak Disediakan Takat Lebur -1 C (30 F) Takat Didih 144-147 C (291 to 297 F) Takat beku Tidak Disediakan Kadar Peluapan Tidak Disediakan Julat Takat Didih Tidak Disediakan Kemudahbakaran (pepejal, gas) Tidak berkenaan Pencucuhan automatik Tidak Disediakan Takat Didih 94.4 C (202 F) Had Mudah Letup Bahagian Rendah Tidak Disediakan Suhu penguraian Tidak Disediakan Had Mudah Letup Atas Tidak Disediakan Tekanan Wap 12 mmhg at 40 C Ketumpatan Wap (udara=1) 9.2 Graviti Tentu (Air=1) 1.55-1.562 Keterlarutan dalam Air (bertindak balas) pekali taburan (noktanol/air) Tidak Disediakan kepekatan Tidak Disediakan Keterlarutan (Lain-lain) Tidak Disediakan Bandingan Tidak Disediakan Bentuk Fizikal cecair Formula Molekul Cl6-Si2 Berat Molekul 268.89 SEKSYEN 10: Kestabilan dan kereaktifan Mukasurat 5 daripada 9 Tarikh dikeluarkan: 2016-01-14 Semakan 1.0 Tarikh dicetak: 2016-01-26
Reaktiviti Bertindak balas dengan air untuk menjana gas menghakis. HCDS boleh membentuk sebatian kejutan sensitif apabila terdedah kepada kelembapan atau air. Kestabilan kimia Bertindak balas dengan air untuk menjana gas menghakis. HCDS boleh membentuk sebatian kejutan sensitif apabila terdedah kepada kelembapan atau air. Boleh menyebabkan tindak balas berbahaya Tidak akan mempolimer. Keadaan yang perlu dielakkan Elakkan terkena bahan mudah terbakar. Jaga kekeringan. Gas-gas berbahaya boleh terkumpul di dalam ruang terkurung. Jauhkan dari bekalan air dan pembetung. Bahan yang Hendaklah Dielakkan (Ketidakserasian) alkohol, bes, Klorin, bahan pengoksida, Air Produk penguraian merbahaya Penguraian Produk Terma Klorin, oksida silikon Air atau Lembapan hidrogen klorida SEKSYEN 11: Maklumat tentang toksikologi Analisis Komponen - LD50/LC50 Komponen bahan ini telah dikaji semula dalam pelbagai sumber dan tiada titik penghujung terpilih telah dikenal pasti Kesan Serta-merta lecuran salur pernafasan, lecuran kulit, lecuran mata, lecuran membran mukus Kesan Tertangguh Tiada maklumat mengenai kesan buruk yang signifikan. Data Kerengsaan/Pengakisan lecuran salur pernafasan, lecuran kulit, lecuran mata, lecuran membran mukus Kerosakan mata yang teruk / Kerengsaan lecuran mata Pemekaan Respirasi Pemekaan Dermal Karsinogen Kekarsinogenan Komponen Tiada ada komponen produk ini disenaraikan oleh Kementerian Kesihatan, ACGIH atau IARC. Data Mutagen Data Kesan Ke Atas Pembiakan Data Tumorigenik Ketoksikan Organ Sasaran Khusus - Pendedahan Tunggal sistem respirasi Ketoksikan Organ Sasaran Khusus - Pendedahan Berulang Tiada data sedia ada Mukasurat 6 daripada 9 Tarikh dikeluarkan: 2016-01-14 Semakan 1.0 Tarikh dicetak: 2016-01-26
Bahaya resapan Keadaan Perubatan Yang Semakin Teruk akibat Pendedahan Tiada yang diketahui. SEKSYEN 12: Maklumat ekologi Analisis Komponen - Ketoksikan Akuatik Tiada data ekotoksik LOLI tersedia untuk komponen produk ini degradasi abiotik Hidrolise cepat dalam air untuk membentuk asid hidroklorik. Keterusan Keupayaan/potensi pengumpulan bio Mobiliti Kesan-kesan berbahaya yang lain SEKSYEN 13: Langkah-langkah pelupusan Kaedah Pembuangan Lupuskan mengikut semua peraturan yang berkaitan. maklumat buangan komponen Tiada maklumat sisa berkenaan untuk komponen produk ini. Pelupusan pembungkusan tercemar Lupuskan mengikut semua peraturan yang berkaitan. SEKSYEN 14: Maklumat pengangkutan Maklumat IATA: Nama Pengangkutan: Klorosilane, mengakis, tidak dinyatakan sebaliknya Kelas Bahaya: 8 UN#: UN2987 Kumpulan Pembungkusan: II Label Dikehendaki: 8 Maklumat ICAO: Nama Pengangkutan: Klorosilane, mengakis, tidak dinyatakan sebaliknya Kelas Bahaya: 8 UN#: UN2987 Kumpulan Pembungkusan: II Label Dikehendaki: 8 Maklumat IMDG: Nama Pengangkutan: Klorosilane, mengakis, tidak dinyatakan sebaliknya Kelas Bahaya: 8 UN#: UN2987 Mukasurat 7 daripada 9 Tarikh dikeluarkan: 2016-01-14 Semakan 1.0 Tarikh dicetak: 2016-01-26
Kumpulan Pembungkusan: II Label Dikehendaki: 8 Komponen Pencemar Marin (IMDG) Tidak dikawal selia sebagai barangan bahaya. Kod Kimia Pukal Antarabangsa Bahan ini tidak mengandungi sebarang bahan kimia yang yang perlu dikenalpasti oleh Kod IBC sebagai bahan kimia bahaya pukal. Awasan khusus tiada Peraturan Singapura Senarai Bahan Berbahaya HEXACHLORODISILANE 13465-77-5 SEKSYEN 15: Maklumat kawalan Wujud Analisis Komponen - Inventori HEXACHLORODISILANE (13465-77-5) Amerika Syarikat CA EU AU ph JP - ENCS JP - ISHL KR - KECI/KECL KR - TCCA CN NZ MX TW Ya NSL EIN Ya Ya Ya Ya Ya Tidak Ya Tidak Tidak Ya SEKSYEN 16: Lain-lain maklumat Kadar NFPA Kesihatan: 3 Kebakaran: 0 Kereaktifan: 2 lain-lain: W Skala Bahaya: 0 = Minimum 1 = Sedikit 2 = Sederhana 3 = Serius 4 = Teruk Tarikh Penyediaan dan Penyemakan SDS baharu: 12/22/2015 Kunci / Petunjuk ACGIH - Persidangan Juruhigin Industri Kerajaan Amerika; ADR - Pengangkutan Jalan Eropah; AU - Australia; BOD - Permintaan Oksigen Biokimia; C - Celsius; CA - Kanada; CAS - Perkhidmatan Abstrak Kimia; CERCLA - Akta Gerak Balas Persekitaran, Pampasan dan Liabiliti Komprehensif; CLP - Pengelasan, Pelabelan dan Pembungkusan; CN - China; CPR - Peraturan Produk Terkawal; DFG - Deutsche Forschungsgemeinschaft; DOT - Jabatan Pengangkutan; DSD - Arahan Bahan Bahaya; DSL - Senarai Bahan Domestik; EEC - Komuniti Ekonomi Eropah; EINECS - Inventori Eropah Bagi Bahan Kimia Komersial Sedia Ada; EPA - Agensi Perlindungan Persekitaran; EU - Kesatuan Eropah; F - Fahrenheit; IARC - Agensi Antarabangsa untuk Penyelidikan Kanser; IATA - Persatuan Pengangkutan Udara Antarabangsa; ICAO - Pertubuhan Penerbangan Awam Antarabangsa; IDL - Senarai Pendedahan Bahan; IDLH - Bahaya Secara Langsung kepada Nyawa dan Kesihatan; IMDG - Barang Bahaya Maritim Antarabangsa; JP - Jepun; Kow - Pekali pemisah oktanol/air; KR - Korea; LEL - Had Mudah Letup Bahagian Rendah; LLV - Nilai Had Paras; LOLI - List Of LIsts - Pangkalan Data Pengawalseliaan ChemADVISOR; MAK - Nilai Kepekatan Maksimum di Tempat Kerja; MEL - Had Pendedahan Maksimum; NFPA - Persatuan Perlindungan Kebakaran Kebangsaan; NIOSH - Institut Kebangsaan untuk Keselamatan dan Kesihatan Mukasurat 8 daripada 9 Tarikh dikeluarkan: 2016-01-14 Semakan 1.0 Tarikh dicetak: 2016-01-26
Pekerjaan; NJTSR - Daftar Rahsia Perdagangan New Jersey; NTP - Program Ketoksikan Kebangsaan; NZ - New Zealand; OSHA - Pentadbiran Keselamatan dan Kesihatan Pekerjaan; PH - Filipina; RCRA - Akta Pemuliharaan dan Pemulihan Sumber; REACH - Pendaftaran, Penilaian, Kebenaran, dan Pengehadan Bahan Kimia; RID - Pengangkutan Rel Eropah; SARA - Akta Pindaan dan Pemberikuasaan Semula Superfund; STEL - Had Pendedahan Jangka Pendek; TDG - Pengangkutan Barang Bahaya; TSCA - Akta Kawalan Bahan Toksik; TWA - Purata Berwajaran Masa; UEL - Had Mudah Letup Atas; US - Amerika Syarikat. Maklumat Lain Penafian: Maklumat dalam Helaian Data Keselamatan (Bahan) ("(M)SDS") dipercayai semasa dan tepat pada masa penghantaran produk oleh Entegris. Entegris tidak membuat sebarang jaminan, nyata atau tersirat, berkenaan dengan maklumat itu, termasuk, tanpa had, waranti tersirat mengenai kebolehdagangan dan kesesuaian untuk tujuan tertentu. Entegris tidak bertanggungjawab untuk sebarang kerugian atau kecederaan yang mungkin timbul dari penggunaan maklumat dalam (M)SDS. Sifat-sifat kimia, fizik dan toksikologi produk Entegris yang diterangkan dalam (M)SDS telah disiasat dengan teliti. Pengguna harus bertanggungjawab untuk menjalankan penelitian semasa penggunaan produk Entegris, dan menjalankan siasatan sendiri untuk menentukan sama ada produk itu adalah sesuai untuk tujuan tertentu dan sesuai untuk kaedah penggunaan atau aplikasinya. Ini adalah tanggungjawab pengguna untuk memastikan bahawa aktiviti pengunaannya mematuhi undang-undang dan peraturan yang berkenaan. Entegris adalah tanda dagangan terdaftar dalam Entegris Inc. atau satu syarikat gabungan. 2015 Entegris Inc. atau syarikat gabungan. Hak cipta terpelihara. Mukasurat 9 daripada 9 Tarikh dikeluarkan: 2016-01-14 Semakan 1.0 Tarikh dicetak: 2016-01-26