* * *BAHAGIAN 1 PENGENALAN BAHAN KIMIA BERBAHAYA DAN PEMBEKAL* * * Entegris, Inc. 129 Concord Road Building 2 Billerica, MA 01821 USA Telephone Number: +1-952-556-4181 Telephone Number: +1-800-394-4083 (toll free within North America) Local Contact Information/maklumat tempatan untuk dihubungi Entegris Malaysia SDN. BHD. (Penang Office) Unit 14 and 15, Lower Level 5 (Executive Wing), Hotel Equatorial No. 1 Jalan Bukit Jambul, 11900 Bayan Lepas, Penang Malaysia Telephone/Telefon: +60-4-427-4200 Fax/Faks: +60-4-641-3294 Emergency Phone Numbers/Nombor Telefon Kecemasan 1-800-815-308(CHEMTREC) 1-703-527-3887 (International/Antarabangsa) Pengecam Produk : Media Penulen Gas Tidak Reaktif (N) Nama Dagang/Sinonim Sistem Penulen Gas Tidak Reaktif dan Penulenan Gas Siri (N) Entegris Kegunaan Produk Penulen gas tidak reaktif menghapuskan lembapan dan bendasing molekul lain daripada O2, Udara Kering Bersih, Gas Asli dan gas SF6. Kekangan Kegunaan Hanya gunakan pada gas yang ditentukan dalam Penggunaan Produk. Halaman 1 daripada 9 Tarikh Dikeluarkan : 09/01/15 Semakan 1.0200 Tarikh Cetak: 09/01/15
Huraian Produk Media yang terkandung di dalam produk ini, apabila digunakan mengikut rekaannya, di bawah keadaan operasi biasa dan dipasang serta disenggara menurut risalah produk, tidak dijangka akan berbahaya. Pengelasan dan bahaya yang dinyatakan dalam Helaian Data Keselamatan ini hanya terpakai jika ada kemungkinan media penulen tertanggal daripada perumah penulen tersebut. Penulen tersebut mempunyai tapis di dalam perumah bagi mengelakkan media daripada tertanggal sewaktu digunakan. Awas: Sesetengah unit disediakan dengan lubang pengisian, yang dimateri di kilang dengan lekapan dan palam VCR serta ditutup dengan pembalut kecut merah. Pengguna akhir tidak boleh sama sekali membuka lubang ini, kerana ia berkemungkinan menyebabkan media tertanggal. E-mel Orang Kompeten Product.stewardship@entegris.com Nombor Alat SDS 8002009 * * *BAHAGIAN 2 - PENGENALAN BAHAYA* * * Pengelasan GHS Kakisan / Kerengsaan Kulit, Kategori 2 Kerosakan / Kerengsaan Mata, Kategori 2 Kekarsinogenan, Kategori 2 Ketoksikan Organ Sasaran Khusus Pendedahan Tunggal, Kategori 3 (sistem respirasi) Ketoksikan Organ Sasaran Khusus Pendedahan Berulang, Kategori 1 (paru-paru ) Berbahaya kepada Persekitaran Akuatik - Bahaya kronik, Kategori 4 (60 % tidak diketahui) Piktogram Bahaya Kata Isyarat BAHAYA Pernyataan Bahaya Menyebabkan kerengsaan kulit Menyebabkan kerengsaan mata yang serius Disyaki menyebabkan kanser Mungkin menyebabkan kerengsaan respirasi Menyebabkan kerosakan organ paru-paru melalui pendedahan berpanjangan atau berulang. Boleh menyebabkan kesan mudarat yang lama kepada kehidupan akuatik Pernyataan Berjaga-jaga Pencegahan Jangan sedut habuk. Basuh sebersih-bersihnya selepas mengendalikan bahan. Pakai sarung tangan pelindung dan pelindung mata/muka. Jangan makan, minum, atau merokok semasa menggunakan produk ini. Dapatkan arahan khas sebelum menggunakan produk. Jangan kendalikan bahan sehingga semua langkah berjaga-jaga keselamatan telah dibaca dan difahami. Gunakan peralatan pelindung peribadi sebagaimana dikehendaki. Gunakan hanya di luar bangunan atau di dalam kawasan yang dialihudarakan dengan baik. Elakkan daripada dilepaskan ke persekitaran. Halaman 2 daripada 9 Tarikh Dikeluarkan : 09/01/15 Semakan 1.0200 Tarikh Cetak: 09/01/15
Tindak balas JIKA terdedah atau terkena bahan: Dapatkan nasihat atau rawatan perubatan. JIKA TERHIDU: Pindahkan mangsa ke kawasan dengan udara segar dan rehat dalam kedudukan yang selesa untuk bernafas. Hubungi PUSAT RACUN atau doktor/pakar perubatan jika anda rasa tidak sihat. JIKA PADA KULIT: Basuh dengan sabun dan air yang banyak. Jika berlaku kerengsaan kulit: Dapatkan nasihat/perhatian perubatan. Tanggalkan pakaian tercemar dan basuh sebelum menggunakannya semula. JIKA TERKENA MATA: Bilas berhati-hati dengan air selama beberapa minit. Tanggalkan kanta lekap, jika ada dan dapat dilakukan dengan mudah. Teruskan membilas. Jika kerengsaan mata berterusan: Dapatkan nasihat/perhatian perubatan. Penyimpanan Simpan di tempat yang mempunyai pengalihudaraan yang baik. Pastikan bekas bertutup rapat. Simpan di tempat berkunci. Pelupusan Lupuskan mengikut semua peraturan yang berkaitan. Bahaya Lain yang Tidak Termasuk Dalam Pengelasan Mungkin membentuk kepekatan habuk mudah bakar di udara (semasa pengendalian atau pemprosesan). Sewaktu penggunaan biasa, dipasang dan disenggara menurut risalah produk, bahan ini dalam bentuk akhirnya tidak dijangka berbahaya. * * *BAHAGIAN 3 - KOMPOSISI DAN MAKLUMAT MENGENAI RAMUAN BAHAN KIMIA BERBAHAYA* * * CAS komponen peratus 7732-18-5 AIR <95 63231-69-6 Zeolit, 13X 50-80 Proprietari Proprietari 20-50 141-43-5 ETANOLAMINA <10 75-59-2 TETRAMETILAMMONIUM HIDROKSIDA <7 58-61-7 ADENOSINA <5 Maklumat Pengawalseliaan Berkaitan Komponen Produk ini mungkin dikawal selia, mempunyai had pendedahan atau maklumat lain yang dikenal pasti sebagai berikut: sebatian titanium, sebatian titanium. Tiada bahan-bahan tambahan yang sekarang diketahui oleh pembekal dan dalam kepekatan terpakai yang terhadir, untuk dikelaskan sebagai berbahaya kepada kesihatan atau alam sekitar dan dengan itu memerlukan laporan dalam seksyen ini. Had pendedahan pekerjaan, jika ada, disenaraikan di Bahagian 8. * * *BAHAGIAN 4 - LANGKAH-LANGKAH PERTOLONGAN CEMAS* * * penyedutan Pertolongan cemas tidak dijangka diperlukan jika bahan digunakan di bawah keadaan biasa dan seperti yang disyorkan. Jika kesan buruk berlaku, bawa ke kawasan yang tidak tercemar. Beri pernafasan bantuan jika tidak bernafas. Jika sukar bernafas, oksigen hendaklah diberikan oleh kakitangan bertauliah. Dapatkan rawatan perubatan dengan serta-merta. SENTUHAN KULIT Pertolongan cemas tidak dijangka diperlukan jika bahan digunakan di bawah keadaan biasa dan seperti yang disyorkan. Basuh kulit dengan sabun dan air selama sekurang-kurangnya 15 minit sambil menanggalkan pakaian dan kasut yang tercemar. Dapatkan rawatan perubatan, jika perlu. Bersihkan dan keringkan sepenuhnya pakaian dan kasut yang tercemar sebelum menggunakannya semula. Halaman 3 daripada 9 Tarikh Dikeluarkan : 09/01/15 Semakan 1.0200 Tarikh Cetak: 09/01/15
SENTUHAN MATA Pertolongan cemas tidak dijangka diperlukan jika bahan digunakan di bawah keadaan biasa dan seperti yang disyorkan. Basuh mata dengan air yang banyak selama sekurang-kurangnya 15 minit. Tanggalkan kanta lekap, jika ada dan mudah dilakukan. Teruskan membilas. Kemudian dapatkan rawatan perubatan dengan serta-merta. PENGINGESAN Pertolongan cemas tidak dijangka diperlukan jika bahan digunakan di bawah keadaan biasa dan seperti yang disyorkan. Jika tertelan, dapatkan rawatan perubatan. Petunjuk bagi Keperluan Perhatian Perubatan Segera dan Rawatan Khas Bagi penyedutan, gunakan oksigen. Gejala/Kesan: Akut kerengsaan saluran respirasi, kerengsaan kulit, kerengsaan mata Gejala/Kesan: Tertangguh barah, kerosakan paru-paru * * *BAHAGIAN 5 - LANGKAH-LANGKAH PEMADAMAN KEBAKARAN* * * Lihat Bahagian 9 untuk Sifat Kemudahbakaran Sifat Mudah Terbakar Bahaya kebakaran boleh abai. Elakkan daripada membangkitkan habuk; habuk seni yang tersebar di udara dalam kepekatan yang mencukupi, dan apabila hadir punca nyalaan, mungkin menimbulkan bahaya letupan habuk. Pemadam Api Gunakan agen pemadaman yang sesuai dengan kebakaran sekitar. Media Pemadam yang Tidak Sesuai Tiada yang diketahui. Peralatan Perlindungan dan Langkah Pencegahan untuk Bomba Pakai peralatan pemadam kebakaran perlindungan penuh termasuk peralatan pernafasan serba lengkap (SCBA) untuk perlindungan daripada kemungkinan pendedahan. Langkah Mencegah Kebakaran Produk ini akan kekal stabil apabila diletakkan di dalam badan penulen. * * *BAHAGIAN 6 - LANGKAH-LANGKAH PELEPASAN TIDAK SENGAJA* * * TATACARA PERLINDUNGAN DIRI, KELENGKAPAN PELINDUNG, DAN KECEMASAN Pakai pakaian dan peralatan pelindungan diri. Sewaktu penggunaan biasa, dipasang dan disenggara menurut risalah produk, bahan ini dalam bentuk akhirnya tidak dijangka berbahaya. Pengelasan dan bahaya yang dinyatakan dalam Helaian Data Keselamatan ini hanya terpakai jika ada kemungkinan media penulen tertanggal daripada perumah penulen tersebut. Penulen tersebut mempunyai tapis di dalam perumah bagi mengelakkan media daripada tertanggal sewaktu digunakan. LANGKAH MELINDUNGI ALAM SEKITAR Elakkan daripada dilepaskan ke persekitaran. Pembendungan Jauhkan dari orang yang tidak berkenaan, asingkan kawasan berbahaya dan halang kemasukan. Pembersihan Pungut tumpahan dengan vakum yang dilengkapi turas HEPA, atau jika tumpahan kering, basahkan dan kaut. Elakkan penimbunan habuk bawaan udara. Elakkan daripada menyapu bahan kering yang tumpah. Jika perlu menyapu kawasan tercemar, gunakan agen penindas habuk. Hapuskan punca nyalaan termasuk punca bunga api elektrik, statik atau geseran. Halaman 4 daripada 9 Tarikh Dikeluarkan : 09/01/15 Semakan 1.0200 Tarikh Cetak: 09/01/15
* * *BAHAGIAN 7 - PENGENDALIAN DAN PENYIMPANAN* * * PENGENDALIAN Jangan sedut habuk. Basuh sebersih-bersihnya selepas mengendalikan bahan. Pakai sarung tangan pelindung dan pelindung mata/muka. Jangan makan, minum, atau merokok semasa menggunakan produk ini. Dapatkan arahan khas sebelum menggunakan produk. Jangan kendalikan bahan sehingga semua langkah berjaga-jaga keselamatan telah dibaca dan difahami. Gunakan peralatan pelindung peribadi sebagaimana dikehendaki. Gunakan hanya di luar bangunan atau di dalam kawasan yang dialihudarakan dengan baik. Elakkan endapan besar bahan, terutama pada permukaan mendatar, yang mungkin terbawa udara lalu membentuk kepulan habuk mudah bakar dan mungkin menyebabkan letupan sekunder. PENYIMPANAN Simpan dan kendalikan menurut semua peraturan dan piawaian semasa. Simpan di tempat berkunci. Simpan di tempat yang mempunyai pengalihudaraan yang baik. Simpan di dalam bekas yang tertutup rapat. Simpan di tempat yang dingin dan kering. Asingkan dari bahan yang tidak serasi. Ketakserasian: asid, bes, bahan pengoksida * * *BAHAGIAN 8 - KAWALAN PENDEDAHAN DAN PERLINDUNGAN DIRI* * * Had Pendedahan Komponen ACGIH: 10 mg/m3 TWA OSHA: 15 mg/m3 TWA (jumlah debu) OSHA (kosong): 10 mg/m3 TWA (jumlah debu) 10 mg/m3 TWA Nilai Had Biologi Komponen Tiada nilai had biologi bagi sebarang komponen produk ini. Kawalan Kejuruteraan Sediakan ekzos setempat atau sistem pengudaraan kepungan proses. Pastikan sistem pengendalian habuk (misalnya saluran ekzos, pemungut habuk, bejana, dan peralatan pemprosesan) direka untuk mencegah terlepasnya habuk ke dalam kawasan kerja (ertinya, peralatan itu tidak bocor). Pastikan pematuhan had pendedahan yang berkaitan. PERALATAN PERLINDUNGAN INDIVIDU Mata/Muka Pakai kaca mata keselamatan. Sediakan air pancut kecemasan untuk mencuci mata dan pancuran mandi deras kuyup di kawasan kerja terdekat. Pakaian Pelindung Pakai pakaian tahan kimia yang sesuai. Cadangan Sarung Tangan Pakai sarung tangan tahan kimia yang sesuai. Perlindungan Pernafasan SCBA (kelengkapan pernafasan serba lengkap) hendaklah disediakan sebagai persediaan sekiranya berlaku kecemasan. * * *BAHAGIAN 9 - SIFAT FIZIKAL DAN KIMIA* * * Halaman 5 daripada 9 Tarikh Dikeluarkan : 09/01/15 Semakan 1.0200 Tarikh Cetak: 09/01/15
Keadaan Fizikal : pepejal Rupa : kelabu pelet dan coklat manik Warna : kelabu, coklat Bentuk Fizikal: pepejal Bau : tiada bau Ambang Bau : Tidak disediakan ph : Tidak disediakan Takat Lebur/Beku: Tidak disediakan Takat Didih : Tidak berkenaan Takat Kilat: tak mudah bakar Suhu Penguraian: Tidak disediakan Kadar Penyejatan: Tidak disediakan LEL : Tidak disediakan UEL : Tidak disediakan Tekanan Wap : Tidak berkenaan Ketumpatan Wap (udara = Tidak berkenaan 1) : Ketumpatan Bandingan: 1 Graviti Tentu (Air=1): 1 Keterlarutan dalam Air : tidak boleh larut log Kow: Tidak disediakan Suhu Pengautocucuhan: Tidak disediakan Kelikatan: Tidak disediakan Kemeruapan: Tidak disediakan Koefisien Penyebaran Air/ Tidak disediakan Minyak: Kemudahbakaran (pepejal, gas): tak mudah bakar * * *BAHAGIAN 10 - KESTABILAN DAN KEREAKTIFAN* * * Kereaktifan Tiada tindak balas bahaya yang diketahui di dalam keadaan penggunaan biasa. Kestabilan Kimia Stabil pada suhu dan tekanan biasa. Keadaan yang Perlu Dielakkan Elakkan penimbunan habuk bawaan udara. Jauhkan daripada haba. Elakkan tersentuh bahan tak serasi. Kemungkinan Tindak Balas Berbahaya Tidak akan mempolimer. Bahan Tidak Serasi asid, bes, bahan pengoksida Penguraian Produk hasil penguraian pelbagai * * *BAHAGIAN 11 - MAKLUMAT TOKSIKOLOGI* * * Ketoksikan Akut dan Kronik Sewaktu penggunaan biasa, dipasang dan disenggara menurut risalah produk, bahan ini dalam bentuk akhirnya tidak dijangka berbahaya. Analisis Komponen - LD50/LC50 Komponen bahan ini telah dikaji semula dalam pelbagai sumber dan titik penghujung terpilih berikut telah diterbitkan: Mulut LD50 Tikus >10000 mg/kg Ketoksikan Akut RTECS (terpilih) Komponen bahan ini telah dikaji semula dan RTECS belum menerbitkan sebarang data mengenai dokumen ini sehingga tarikh ini. Halaman 6 daripada 9 Tarikh Dikeluarkan : 09/01/15 Semakan 1.0200 Tarikh Cetak: 09/01/15
Paras Ketoksikan Akut Sederhana Toksik: penyedutan Agak Toksik: PENGINGESAN Kesan Serta-merta kerengsaan saluran respirasi, kerengsaan kulit, kerengsaan mata Kesan Tertangguh barah, kerosakan paru-paru Data Kerengsaan/Pengakisan kerengsaan saluran respirasi, kerengsaan kulit, kerengsaan mata Perengsa RTECS Komponen bahan ini telah dikaji semula, dan RTECS menerbitkan titik penghujung berikut: 300 ug/3 day(s) intermittent Skin Human mild Pemeka Respirasi Tiada data tersedia. Pemeka Dermis Tiada data tersedia. Kekarsinogenan Kekarsinogenan Komponen Senarai karsinogen ACGIH, IARC, OSHA, NIOSH, dan NTP telah disemak untuk bahan serupa yang terpilih atau komponen dengan nombor daftar CAS. Hanya komponen yang ditemui dalam mana-mana senarai ini akan ditunjukkan di bawah. Komponen yang tidak dipaparkan tidak ditemui dalam mana-mana senarai ini, dan tidak dianggap sebagai karsinogen oleh sumber-sumber ini. ACGIH: A4 - Tidak Diklasifikasikan sebagai Karsinogen Manusia IARC: Monograf 93 [2010]; Monograf 47 [1989] (Kumpulan 2B (berkemungkinan karsinogenik kepada manusia)) NIOSH: potensi karsinogen pekerjaan Data Mutagen Tidak terdapat data untuk campuran. Data Kesan Pembiakan Tidak terdapat data untuk campuran. Data Tumorigenik Tidak terdapat data untuk campuran. Ketoksikan Organ Sasaran Khusus - Pendedahan Tunggal sistem respirasi Ketoksikan Organ Sasaran Khusus - Pendedahan Berulang paru-paru bahaya aspirasi Tiada data tersedia. Keadaan Perubatan yang Semakin Teruk Akibat Pendedahan gangguan pernafasan * * *BAHAGIAN 12 - MAKLUMAT EKOLOGI* * * Ekoketoksikan Boleh menyebabkan kesan buruk jangka panjang kepada persekitaran. Halaman 7 daripada 9 Tarikh Dikeluarkan : 09/01/15 Semakan 1.0200 Tarikh Cetak: 09/01/15
Analisis Komponen - Ketoksikan Akuatik Data mungkin boleh didapati bagi produk atau komponennya (jika berkenaan, lihat di bawah). Keselanjaran dan Keterdegradan Tiada maklumat boleh didapati untuk campuran tersebut. Potensi Bioterkumpul Tiada maklumat boleh didapati untuk campuran tersebut. Kebolehgerakan di dalam Tanah Tiada maklumat boleh didapati untuk campuran tersebut. * * *BAHAGIAN 13 - MAKLUMAT PELUPUSAN* * * Kaedah Pembuangan Lupuskan mengikut semua peraturan yang berkaitan. * * *BAHAGIAN 14 - MAKLUMAT PENGANGKUTAN* * * Maklumat IATA Tidak dikawal selia. Maklumat ICAO Tidak dikawal selia. Maklumat IMDG Tidak dikawal selia. Komponen Pencemar Marin (IMDG) Bahan ini tidak mengandungi bahan kimia yang disenaraikan dalam Bab 3.2 - Senarai Barangan Berbahaya - yang di bawah IMDG wajib dikenal pasti sebagai zat pencemar laut. * * *BAHAGIAN 15 - MAKLUMAT PENGAWALSELIAAN* * * Peraturan Lain EU - REACH (1907/2006) Artikel 59(1) Senarai Calon Bahan untuk Kemasukan Kemudian dalam Lampiran XIV Tiada komponen bahan ini disenaraikan. EU - REACH (1907/2006) Lampiran XIV Senarai Bahan Tertakluk kepada Kebenaran Tiada komponen bahan ini disenaraikan. EU - REACH (1907/2006) - Annex XVII Sekatan Bahan Berbahaya, Campuran dan Artikel Tertentu Tiada komponen bahan ini disenaraikan. * * *BAHAGIAN 16 - MAKLUMAT LAIN* * * Kadar NFPA : Kesihatan: 2 Kebakaran: 0 Kereaktifan : 0 Skala Bahaya: 0 = Minimum 1 = Sedikit 2 = Sederhana 3 = Serius 4 = Teruk MSDS Baharu: 3/27/2015 Halaman 8 daripada 9 Tarikh Dikeluarkan : 09/01/15 Semakan 1.0200 Tarikh Cetak: 09/01/15
Kunci / Petunjuk ACGIH - Pertubuhan Pakar Kebersihan Industri Kerajaan Amerika Syarikat; ADR - Pengangkutan Jalan Eropah ; BOD - Keperluan Oksigen Biokimia; C - Celsius; CAS - Perkhidmatan Ikhtisar Bahan Kimia; CERCLA - Akta Respons, Pampasan dan Liabiliti Alam Sekitar Menyeluruh; DFG - Deutsche Forschungsgemeinschaft; DOT - Jabatan Pengangkutan; EEC - Komuniti Ekonomi Eropah; EINECS - Inventori Bahan Kimia Komersial Sedia Ada Eropah; EU - Kesatuan Eropah; EPA - Agensi Perlindungan Alam Sekitar; IARC - Lembaga Antarabangsa untuk Kajian Barah; IATA - Persatuan Antarabangsa Pengangkutan Udara; ICAO - Pertubuhan Penerbangan Awam Antarabangsa ; IMDG - Barangan Berbahaya Maritim Antarabangsa ; Kow - Pekali pembahagian oktanol/air; LEL - Had Rendah Letupan ; LOLI - List Of Lists ; - Pangkalan Data Pengawalseliaan ChemADVISOR; MAK - Nilai Penumpuan Maksimum di Tempat Kerja; MEL - Had Maksimum Pendedahan ; NFPA - Agensi Perlindungan Kebakaran Kebangsaan; NIOSH - Institut Nasional Keselamatan dan Kesihatan Pekerjaan; NJTSR - Daftar Rahsia Perdagangan New Jersey; NTP - Program Toksikologi Nasional; OSHA - Pentadbiran Keselamatan dan Kesihatan Pekerjaan; RCRA - Akta Pemuliharaan dan Pemulihan Sumber; RID - Pengangkutan Kereta Api Eropah ; RTECS - Pendaftaran Kesan Toksik Bahan Kimia ; SARA - Akta Pindaan dan Pemberikuasaan Semula Superdana; STEL - Had Pendedahan Jangka Pendek ; TSCA - Akta Kawalan Bahan Beracun; TWA - Purata Wajaran Masa ; UEL - Had Atas Letupan ; US - Amerika Syarikat "RTECS " ialah tanda dagangan Amerika Syarikat yang dimiliki dan dilesenkan di bawah kuasa Kerajaan A.S., oleh dan melalui Accelrys, Inc. Sebahagian milik Hak Cipta 2014, Kerajaan A.S.. Hak cipta terpelihara. Maklumat Lain VCR ialah tanda dagangan berdaftar Swagelok Company. Penafian Maklumat dalam Helaian Data Keselamatan (Bahan) ("(M)SDS") dipercayai semasa dan tepat pada masa penghantaran produk oleh Entegris. Entegris tidak membuat sebarang jaminan, nyata atau tersirat, berkenaan dengan maklumat itu, termasuk, tanpa had, waranti tersirat mengenai kebolehdagangan dan kesesuaian untuk tujuan tertentu. Entegris tidak bertanggungjawab untuk sebarang kerugian atau kecederaan yang mungkin timbul dari penggunaan maklumat dalam (M)SDS. Sifat-sifat kimia, fizik dan toksikologi produk Entegris yang diterangkan dalam (M)SDS telah disiasat dengan teliti. Pengguna harus bertanggungjawab untuk menjalankan penelitian semasa penggunaan produk Entegris, dan menjalankan siasatan sendiri untuk menentukan sama ada produk itu adalah sesuai untuk tujuan tertentu dan sesuai untuk kaedah penggunaan atau aplikasinya. Ini adalah tanggungjawab pengguna untuk memastikan bahawa aktiviti pengunaannya mematuhi undang-undang dan peraturan yang berkenaan. Entegris adalah tanda dagangan terdaftar dalam Entegris Inc. atau satu syarikat gabungan. 2015 Entegris Inc. atau syarikat gabungan. Hak cipta terpelihara. Hujung Lembaran 0004 (MALAYSIA) Halaman 9 daripada 9 Tarikh Dikeluarkan : 09/01/15 Semakan 1.0200 Tarikh Cetak: 09/01/15